Parylene CVD鍍膜設備販售

Parylene-AF4 CVD專用鍍膜設備

a.前驅物 : Parylene-AF4 Dimer專用蒸鍍模組

b. 腔體尺寸 : 直徑400mm × 高度400mm

c. 乘載內容 : 12pcs 8” Si-wafer乘載治具

Parylene-C/N CVD專用鍍膜設備

a. 前驅物 : Parylene-C/N Dimer專用蒸鍍模組

b. 腔體尺寸 : 直徑600mm × 高度800mm

c. 乘載內容 : 10層 370mm × 470mm乘載治具